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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

项目流程历史背景 该半导体行业设备工厂应用于长三角型中南部,主耍制造8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排出口废需水量约2000吨。致使半导体行业设备制造工艺设计僵化,生活污水化学有害物质繁多且含有各种各样难降解塑料有害物质,工厂多余工作场地设施没法足够必将严厉的节能环保排出口细则,故成本1000万元创建非常专业生活污水工作站。 焦化废水营养成分及来原 该中小企业废水处理工艺包括氛围八类: 含氟生产废水:源头于晶圆蚀刻、拆洗工步,氟阴离子盐浓度高至2000mg/L; 设计废水处理加工过程:来光刻、定影等加工过程,包含的异丙醇、二甲苯等设计稀释剂,COD值在5000mg/L以内; 酸碱度污废水 :制造于难以清理和从表面清理关键点,pH值变化大; 含铜废污水:发源塑胶电镀和合金材料热艺,铜阴离子氧化还原电位约150mg/L。 处理工艺流量流量 对的不同特点的废气,用于"归类获取+分质治理+尾部淬硬层治理"的搭档工序: 含氟电镀废水处理设备技术线: 二级化学上乳浊液:先污泥脱水氯化钙调pH至6-7,再加上入PAC和PAM水解酸化池乳浊液; 灵活性脱色铝过滤:狠抓氟阴阳离子有机废气浓度降下来8mg/L以内。 有机酸废渣治疗线: 微电解设备化学反应:铁碳人工湿地填料床预解决增进工业废水可血生化性; UASB水解酸化池发应器:HRT=24h,COD快速清理率65%; MBR膜生物体发生流化床反应器:选择PVDF弧形纤维板膜,冒水COD<50mg/L。 酸碱平衡废水处理方法与控制系统: 自己pH设定:使用线污染监测仪管控加酸加碱量; 二沉池析出:去掉中合引发的悬停物。 含铜生活污水操作: 电学沉淀出的出的:添加NaOH自动调节pH至9-10,演变成氢被氧化铜沉淀出的出的; 阴亚铁离子交易:为了保证铜阴亚铁离子浓度值<0.3mg/L。 广度整理单园: 臭氧的危害离子液体脱色:进每一步光降解难拆分有机质物; 活力炭过滤清洁:的还原色饱和度和氢化物发生器废弃物物; UV红外光线线空气消毒:有效确保留水益生菌体指标值考核标准。 结果是功能 好项目行驶后,满水后水的质量相对稳定起到《电子为了满足电子时代发展的需求,工业企业水危害物减排的标准》(GB 39731-2020)特别减排允许值规范要求,里面氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。每月可下降氟化物减排约120吨,COD减排约400吨,收回水环境资源约70万吨。系統自主化层次高,行驶代价保持在8.5元/吨水左右侧。

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