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半导体研磨废水怎么处理|半导体研磨废水如何处理

好项目背景图 本次目处于华南区域一间知名度半导体芯片手工制造单位,主要是加工8英尺和12英尺晶圆。现在产销量加快,研磨抛光工艺所产生的废供水量从本来的200吨/日加剧到350吨/日,和原有进行治理设施设备已就没有办法考虑标准,且留水水硬度不安稳,迫切需要开工建设和变革废污水进行治理程序。 污水成份及起源 该企业的研磨抛光焦化废水重点根据下例多种工序: 药剂学自动化机械精磨(CMP)废气:带有二氧化反应反应硅、氧化反应反应铝等精磨颗料,粒度在0.1-1μm的范围 晶圆反面抛光生产废水:含硅粉、金属制铝离子(铜、铝等)及极少量有机物加剂 切开磨研生产废水:重点有效成分为氢氟酸处理硅颗料和打磨油保湿乳液 化工废水因素成绩为:pH值跌涨大(2-11)、浮动物质量浓度高(500-2000mg/L)、具有轻微血本属和难可降解可挥发物,COD经常在200-500mg/L的范围。 清理加工过程具体流程 经由几次小试和中试,然后决定进行低于治理工学院艺: 调接池 :设有pH在线视频探测和自动的投加药剂机系统,将废水处理方法pH稳固在6.5-7.5区域 水泥混凝土乳浊液 :加药缩聚氯化铝(PAC)和阴离子型pe塑料酰胺(PAM),搅拌反应迟钝后进入斜板沉淀出的池 溶气气浮 :所采用一部分逆流式溶气气浮,进步我们要除体积小粒子和悬浊液元素 多材质活性炭过滤 :选取石英晶体砂+活性酶类炭二级过虑,确认水流SS<10mg/L 膜解决模式 :也包括反渗透设备到装置(UF)和反渗透设备到(RO)有级,RO浓水单独的加工处理 污泥干化外理 :沉积随和浮污泥干化经板框压滤后建筑垃圾清运应对 关键性工艺技术参数指标:水泥混凝土关键期G值调控在60-80s⁻¹,不起作用精力15min;气浮回到比30%,等待精力20min;超滤膜通量60LMH,反加入收废率75%。 终究成效 模式使用稳定的后,出水出水水质检测完成达到《光学轻工业水造成的有害物质尾气尾气排污标准规定标准规定》(GB39731-2020)很尾气尾气排污标准规定限制值需要,常见公式以下几点: SS<5mg/L(洗去率>99%) COD<30mg/L(消除率>93%) 铜铁离子<0.3mg/L 喷水循环率提升65%综上所述 厌氧颗粒污泥回收利用40% compared to原加工制作工艺 本次目总投资加盟约120070万,启动成本费用约8.5元/吨水,每季度可减小废污水排放物量7万吨左右,回收公司水产品4万吨左右,划算管理经济发展和大环境管理经济发展不错。

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