该晶圆制作的加工厂座落华中东北部,注意制作的8寸大光电器件晶圆,每日焦化废水排放原则出量约800吨。伴随制作的环节中选择过多盐酸完成晶圆蚀刻,引发焦化废泥中氟化物氨水浓度将高达200-300mg/L,远超国家的排放原则出原则(10mg/L之下)。
废水处理成分表及渠道
废气最主要的出自6个流程:
晶圆蚀刻步骤
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸铵及一少部分血本属
普通设备设备抛光处理(CMP)生活污水
:含nm级硅颗粒肥料、无机络合剂
设施的洗涤生活污水
:含异丙醇、氧化还原电位等化学物质物
整理工艺技术流量
适用"有机化学沉淀物物中+水泥混凝土沉淀物物中+深度的筛选"三类办理软件:
1级加工处理
:添加氯化钙和氢被氧化钙,进行氟化钙沉淀出的,氟化物祛除率达85%
一级处置
:加入PAC(聚合反应氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清除氢氧化铁态生态破坏物
三级分销正确处理
:能够 多媒质脱水器和化学活化炭树脂吸附,出水量氟化物溶度不稳定性在8mg/L低于
关键点机器其中包括:pH会自动转换系统软件、斜管沉垫池、板框刮刀离心机(厌氧颗粒污泥脱水怎么办)。
最后感觉
好项目作业六年监测器大数据显示信息:
氟化物评均氨水浓度:7.2mg/L(远低于中国标淮)
COD弄掉率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年收售氟化钙副新产品约150吨,构建资源量化使用