楼盘原型
深圳某半导厂生产制造的过程中直接行成高硅废渣(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废渣(F⁻ 200-300mg/L)。2种废渣混合型喂养后常转变成氟硅酸电解质溶液,传统艺术化学沉积法易于平衡达到准则。品牌准则要求同歩除去硅和氟(摆放准则:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废水处理工艺组成及来自
其主要基本成分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
原因
:晶圆刻蚀污废气 、CMP研磨抛光污废气 、机 冲干净水
进行处理工艺步骤步骤
协作沉积价段
:
二级不良反应池
:
弟一级加药Ca(OH)₂绘制CaF₂和CaSiO₃沉淀自己;
第二个级加药PAC(缩聚氯化铝)升星水解酸化池。
固液分离出来一阶段
:
反渗透装置程序
:应用0.02μm孔的直径膜插件挤占胶体溶液硅和微细发展物。
纵深脱氟一阶段
:
化学活化阳极氧化铝粉粘附塔
:残留氟阴阳离子气体吸附的还原。
最后目的
水流SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远强于国家条件。
超滤膜控制系统通量相对稳定在15LMH,耐腐蚀拆洗时间延长至至60天。
工业废水经压滤后水分含量率<65%,可按正常危险废物加工。