该厂为89英寸晶圆产量线配套工程的超超纯水模式，每天都在呈现含硅废水净化处理150吨。废水净化处理中虽无血本属，但硅纯度高易水垢，且功率电阻率需提升18MΩ·cm功能回收。原本净化处理工学艺没有办法满足了新实行的《电子无线实业水污染源物产生规范》（GB39731-2020）尤为产生标准值。 生产废水物质作用 最主要弄脏物 ：溶液硅（200-300mg/L）、小粒硅（粒度分布0.1-1μm） 特俗需要 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水质量基本特性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅类化合物形状缜密 除理技艺步骤流程 创新发展进行"梯级膜分离出来+电去化合物"结构加工过程： 微滤预净化处理 ：1μm卫浴陶瓷膜拦住大颗粒物硅，通量长期保持80LMH 阳离子相互交换树脂胶 ：D201大孔树酯挑选性物理吸附硅酸原子 两级RO平台 ：1、段回收公司率60%，2.段适用高脱硼膜开关元件 EDI电去化合物 ：交流电硬度2A/m²，快速取除残渣亚铁离子 UV紫外线除菌 ：254nm分光光度计线药量40mJ/cm² 的技术新亮点 制作专业阻硅剂（可挥发胺类和好物），抑制膜环境破坏定期3倍 EDI传感器企业创新流道的设计，硅清除率上升至99.8% 在线视频硅分折仪（预估领域0.1-500μg/L）变现脱贫攻坚操纵 操作功效 经三、方测试： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼成分从8μg/L降下来0.3μg/L 系统环保再生资源回再回收率从原40%增强至68% 膜换的周期延伸至5年，年进行制造费减低35%