某半导鑫霖环保芯片制作厂在晶圆生产制造历程中，在使用硅烷参与硅外加生长期，烟气洗滌塔所产生高盐浓度含硅工业生产废水。工业生产废水具备有pH波动性大（2-11）、硅含磷量高的优点和缺点，传统文化处里技巧易有硅垢空气能管道堵塞间题。 废水处理组分及来源于 废污水重要因素为： 溶解出来性硅酸盐 ：SiO₂酸度达1000-1500mg/L 氢空气氧化钾/氢空气氧化钠 ：洗衣机清洗塔酸碱性洗衣机清洗液存留 小粒硅 ：奈米级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：辅料沉渣带进 解决的工艺的流程 革新采取"有级采和+膜净化+减压蒸馏凝结"工艺流程： 特一级结合 ：用CaO自动调节pH至4-5，转换成硅酸钙水解，硅祛除率60%。 二级考试结合 ：加Na₂CO₃将pH提拔至9，深化骤积累已用硅，并接用镁剂除砷。 反渗透装置软件 ：0.02μm瓷器膜脱水nm级硅颗粒剂，通量增强在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：溶缩高盐电镀废水，析出出Na₂SO₄副设备，水使用率超90%。 终于成效 总硅从1500mg/L减少为5mg/L下类 砷浓度从0.8mg/L降下来0.01mg/L 系统化无结渣开机运行高于2年 第二年二手回收氢氧化钠钠多晶体约800吨