某半导体材料生产加工工厂因晶圆除污制作工序带来含氨生产废水,的水量200吨/天。生产废泥中除氯离子外还富含氟化物和氢化物发生器血本属,除理分值大。本省排放物标准单位的标准氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废水处理化学物质及來源
晶圆拆洗废水处理(主耍來源):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序污水:含少量铜、镍等天价属,pH值波动性大
CMP打磨废污水:含硅颗粒剂及氯离子
解决生产工艺操作流程
利用"普通机械沉淀自己+膜破乳+折点氯化"组合成技艺:
预清理
:添加CaCl2除氟,把控pH在7.5-8.
反渗透装置平台
:剔除0.01μm这些粒状物
反浸入浓缩液
:将氯离子萃取至1000mg/L往上
折点氯化
:精确度高的控制氯加药量,将化学需氧量变为为N2
阴阳离子更换
:服务巨资属不合格
最终能够实际效果
氯离子稳定可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属分子量最低判断限
水工业废水处理率达75%
淤泥行成量削减40%