济南某半导鑫霖环保芯片打造厂,晶圆生产阶段中造成含硅、氟的唯一性生活污水,方案整理规模性1200吨/日。生活污水化学物质复杂性,具有刺激性納米级硅顆粒及氢氧化钠,传统与现代整理策略不好符合标准。
电镀废水成份及起源
关键空气排放物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm粒度分布)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
來源制作工艺
:晶圆刻蚀电镀废水处理方法(45%)、CMP耐腐蚀机制磨光电镀废水处理方法(40%)、生产设备冲刷水(15%)
外理新工艺环节
创新性运用"化学式凝固+防化膜拆分"技术性路线规划:
钙盐石雕文化沉淀
:加药氯化钙消除氟阴离子(形成CaF2沉积)
斜板沉淀池不良反应
:包覆斜板沉淀池剂推动悬浊液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜挪用微细颗粒物
反渗透膜工作会更设备
:脱盐率>98%,回笼率75%
蒸馏沉淀
:浓水段进行氟化物零排卸
结果英文治疗效果
氟化物含量:<8mg/L(最低国度四级标准单位10mg/L)
硅含磷量:<5mg/L
水资源现状性使用率:70%中用散热塔保湿补水
危险废弃物减低:减压蒸馏残留量较传统式施工工艺减低60%