半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
楼盘大环境
该工业园集中了十余家半导体器件相应工厂主,的设计日正确加工意识5000吨,须得正确加工来差异性工厂主的融合焦化生产废水。基于各工厂主生产方式施工工艺差异性大,焦化生产废水基本成分繁杂善变,正确加工难易度较高。
污废水 组分及收入
工业废气处理处理处理工艺首要主要分为3个类:高酸度巧妙肥料工业废气处理处理处理工艺(光刻胶、成像液等)、含氟工业废气处理处理处理工艺(刻蚀工作)和酸碱性工业废气处理处理处理工艺(清洁工作工作)。个性化含量主要分为异丙醇、四甲基氢氧化物铵等难可降解巧妙肥料物,包括氟化物、氧化还原电位等高分子被污染的物。工业废气处理处理处理工艺COD跌涨大(500-3000mg/L),氟化物酸度100-500mg/L,氧化还原电位50-150mg/L。
工作的工艺步骤流程
用于"总类提取+分质除理+网络化深层次除理"的创新技术经济模式:
企业内部人员分类管理预办理:含氟生产废水独自工作并预办理
产业园污水管等各类气流输送系统
全方位的调整池义均地表水
有级水泥混凝土放置出掉悬浮按钮物和悬浊液
高怪物反映器(HBR)工作生产生态破坏物
活性氧催化反应氧化的溶解难工业制硝酸生物碳物
反渗入设计来脱盐处置
太阳光的红外光线线清洁消毒确认出液安全的
尤其是放置了线监测整体整体和自行投药整体,处理水质监测起伏。
终结感觉
机系统运转3年来,正确处理视觉效果维持牢靠。喷水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,到达水质监测Ⅳ类的标准,位置回收于产业园景观及冷确塔保湿补水,回收率不低于30%。今年减掉新颖水使用的约20万吨,为产业园各个企业合理安排电费上百十万。